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近年、クリーンルームにおいて有機アウトガスの低減が製品の歩留りに係わる大きな課題となっていることは御承知の通りです。ロボシーラーは、半導体や液晶製造環境のような超清浄度空間を実現するために開発されたLOV VOLATILE SEALERです。国内外のクリーンルーム用ガスケットとして、広くご採用いただいており、ガスケットからのアミンやBHTや環状シロキサンなど分子汚染物質の発生を限りなく少なくします。
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☆Informarion |
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| ■ ロボシーラーの用途 |
| 1) クリーンルーム用エアフィルターのガスケット |
| 2) クリーンルーム用天井パネルのガスケット |
| 3) クリーンルームのチャンバーやダクトのシール |
| 4) 半導体製造装置および周辺機器のシール |
| 5) クリーンルーム用配管カバー |
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★ロボシーラーは、株式会社テクノ月星の押出し成型技術により製造されたEPDMゴム発泡体です。弊社では総発売元として長尺品の販売や加工品にも対応いたします。 |
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大阪:TEL:06-6341-9542 FAX:06-6341-8445
東京:TEL:03-3542-5721 FAX:03-3545-1369 |
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