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製品情報 PRODUCTS

ロボシーラー® 低アウトガスEPDMゴム発泡体~クリーンルーム対応発泡ガスケット~

ロボシーラー®とは

近年、クリーンルームにおいて有機アウトガスの低減が製品の歩留りに係わる大きな課題となっていることは御承知の通りです。ロボシーラー®は、半導体や液晶製造環境のような超清浄度空間を実現するために開発されたLOV VOLATILE SEALERです。国内外のクリーンルーム用ガスケットとして、広くご採用いただいており、ガスケットからのアミンやBHTや環状シロキサンなど分子汚染物質の発生を限りなく少なくします。

■ ロボシーラー®の用途 1) クリーンルーム用エアフィルターのガスケット 2) クリーンルーム用天井パネルのガスケット 3) クリーンルームのチャンバーやダクトのシール 4) 半導体製造装置および周辺機器のシール 5) クリーンルーム用配管カバー
★ロボシーラー®は、株式会社テクノ月星の押出し成型技術により製造されたEPDMゴム発泡体です。弊社では総発売元として長尺品の販売や加工品にも対応いたします。


ロボシーラー®開発の経緯

過去にクリーンルーム用エアフィルターのガスケットとして使用された発泡体は、CRゴム(ネオプレン等)が一般的でした。しかし、経年変化による変色や紫外線劣化によるゴミの発生原因が問題視され、合成ゴムの中でも特に耐候性に優れたEPDMゴムが注目されるようになりました。また、半導体産業では歩留りの向上から、クリーンルーム内の使用材料に関して分子レベルの高清浄材料が求められています。こうしたご要望にお答えするため、「ロボシーラー®」は特殊なゴム配合と特殊な押出技術によりきわめて低いアウトガス製品を実現しました。

ロボシーラー®の特徴

1)有機アウトガスの発生が極めて少ないガスケットです
2)合成ゴムの中でも最も耐候性に優れたEPDMゴムです
3)押出し製品ですから全面スキン層付きで表面劣化し難い構造です
4)微細で均一な独立気泡の発泡体です
5)任意の押出し形状が可能です
6)環境にやさしいノンハロ難燃タイプもあります
7)アウトガスの更に少ないロボシーラー100やウルトラロボシーラーもあります
8)シロキサンの極めて少ないロボシーラーNSもあります


試験データ

◎アウトガス分析データ(住化分析センター測定)

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加熱発生ガスGC-MS分析法

試料(約0.1g)を、不活性ガス気流内において100℃×1時間加熱し、試料から発生したアウトガスを、吸着剤で捕集濃縮した後GC-MSで測定した。
 
 
※アウトガス総発生量の定量は、トルエン換算による。

◎成分別分析データ

トルエン換算(μg/g)
区分 総アウトガス アミン BHT 環状シロキサン
ロボシーラー 870 58.3 9.6 1.0×10-5以下
ロボシーラー100 100 0.9 0.3以下 1.0×10-5以下
ウルトラロボシーラー 3 0.3以下 0.3以下 1.0×10-5以下
ロボシーラーNS 3 0.3以下 0.3以下 1.0×10-6以下

◎オゾン劣化試験データ

ロボシーラー 2000時間異常なし JIS-K-6259「加硫ゴムのオゾン劣化試験方法」に準じる40℃、オゾン濃度50pphm、伸び20%、試験時間2000時間
他社プレス成型CR 768時間でチャック部から破断
他社プレス成型ウレタン 600時間で表面の弾性がなくなりコーナ部劣化

◎耐光性評価試験データ

キセノンウェザーメーターにて耐光せいの評価促進試験(JIS D 0205に準拠:40℃、湿度50%、スプレーなしの条件)を行い、屋外暴露約1年相当の300時間後の物性変化を見た。

区分 引張強度保持率 伸び保持率 硬度変化 概観亀裂
ロボシーラー 106% 94% +5ポイント 変化なし
他社ウレタン 54% 48% +20ポイント 亀裂発生

ロボシーラー®の種類

品名 材質 特徴 硬度
(アスカー-C)
25%圧縮応力
(MPa)
伸び
(%)
ロボシーラー EPDM プレス成約品の約1/10のアウトガス 30±5 0.025~0.15 150以上
難燃ロボシーラー EPDM ノンハロ難燃剤によるUL-94HBF難燃性相当 25±5 0.015~0.150 150以上
ロボシーラー100 EPDM アウトガスが一般品の約1/10と極めて少量 35±5 0.02~0.150 150以上
ウルトラロボシーラー EPDM アウトガスがロボシーラー100の約3/100 35±5 0.02~0.150 150以上
ロボシーラーNS EPDM 環状シロキサン(D3~D11)を含まない 7以下
15±5
0.01~0.04
0.02~0.08
100以上
150以上

断面形状と標準サイズ

断面形状 イメージ 断面サイズ m/巻
角型

kaku-gata両面テープ

3×8、3×10、5×10、6×15、5×20 100m
半丸型

hanen-gata両面テープ

10×5R、15×7.5R 100m

注1) 口金を準備すれば、上記以外の断面形状や断面サイズ品の製造も可能です
注2) 黒が標準品ですが、グレーや白も生産できます
注3) 在庫扱い品でない場合は、納期とロットが必要になります

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ロボシーラー®の枠加工品
(枠加工品は専用工場で対応させていただきます)

 ロボシーラーは発泡スポンジの長尺押出し製品ですが、指定の長さに斜めカットし額縁状の枠加工品の対応も致します。コーナーの接着にはホットメルトを使用し、裏面には両面テープを張付けます。

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その他のゴムスポンジ

弘栄貿易株式会社ではその他のゴムスポンジも扱っておりますので、お気軽にお問合せ下さい。

●CR(ネオプレン)ゴムのスポンジ:ダイワボウプログレス(株)
●シリコーンゴムのスポンジ:サンポリマー(株)、タイガースポリマー(株)
●フッ素ゴムのスポンジ:サンポリマー(株)、タイガースポリマー(株)
●ウレタンゴムのスポンジ:ブリジストン化成品(株)、(株)イノアックコーポレーション
●エプトシーラー(EPDMスポンジ):日東電工(株)
●ポリオレフィン発泡体:東レペフ加工品(株)

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