弘栄貿易株式会社
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製品情報 PRODUCTS

マイクロナノバブル発生装置

シグマテクノロジーとのコラボレーションにより、ΣTベローズシリンダーポンプの高圧送構造を利用した、マイクロ・ナノバブル生成装置をリリース致しました。

高圧送液により気液混合を効率的に行い、特殊な混合方式により、均一なバブル生成を可能にした、画期的なマイクロ・ナノバブル生成装置を開発いたしました。

半導体・FPD・LED・MEMS分野での洗浄・レジスト剥離。カット野菜の滅菌・殺菌など食品分野。金属・樹脂加工後の洗浄。上下水の爆気、徐染、滅菌処理。その他、医療・農業など多方面へ、環境への負荷を低減可能な応用展開が期待できます。

nanobubble01

■ 特長

◎ 世界初の独自方式の、水撃方式バブル生成ノズルによる超微細で、粒子径のそろったバブルを形成

◎ 長時間安定したバブルを生成出来る、気液混合槽

◎ 接液部材質は、高純度フッ素樹脂、ステンレス、スーパーエンプラなどより選択可能


■ 装置概要

供試ベローズシリンダポンプ:ΣP-15D 評価は吐出圧0.4MPaで実施(本ポンプの基本性能はカタログをご参照ください)

micronanobubble04
※バブル数測定装置:リオン社製 液中パーティクルカウンタ(R)
※粒径表示:2はΦ2-6μmの範囲の意味


■ 特性

クラウド状に生成するバブルの粒径分布
低圧から高圧まで安定したバブルが得られます
供試ベローズシリンダポンプ:ΣP-15D
評価は吐出圧0.4MPaで実施(本ポンプの基本性能はカタログをご参照ください)


■ 知的所有権

特許 第4547451号「ベローズポンプ及びベローズポンプの運転方法」
他に関連特許を6件出願中です。


■ お問い合わせ

弘栄貿易株式会社 半導体関連事業部


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